石英晶片清洗机
（FYA-6060FJ）
本机特点：
1．为达到良好的漂洗效果，在1，3槽洗剂超声波清洗后，进入一道纯水喷淋漂洗+超声波漂洗，将大部分的脏物及
洗剂排走，保正工件洁净度，以免进入5槽热兆声波漂洗时产生二次污染.
2．为减少洗剂槽的清洗液（1槽碱液，3槽弱酸液带少量的挥发性）对整个机台的气味及浓度扩散，在1,3槽体上部
设计单独抽风系统，以保证机台内部的空气洁净度，以免工件清洗完成后引起空气中的二次污染。
3．为保证超声清洗工件的均匀性，在漂洗槽体底部安装有氮气搅拌系统，氮气搅拌时间及强度可调。
4. 为保证纯水流洗槽（2，4槽）的喷淋稳定，在这2，4槽的槽体后部都连有一副槽，实现纯水的保有量以保证喷
淋系统的正常运行。
5.为保证工件最后的洁净度第五槽清洗采用兆声级超声波。在许多高技术产品的生产过程中需要清除粒径小于微米
的污垢粒子，都用到兆声级超声波。（例如大规模集成电路硅片、硬磁盘和光刻掩蔽膜的清洗）兆声级超声波的清
洗不是利用超声波的空化作用
